三維形貌儀是一款便攜式表面形貌測量儀，采用白光共聚焦技術，可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高，速度快，重復性好的優(yōu)點，該儀器的測量探頭可以任意旋轉，適合精密測量 不可移動樣品表面形貌，同時適合進行野外測試。
本儀器是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
系統(tǒng)構成：
光學照明系統(tǒng)：采用鹵素光源、中心波長為576nm、光譜范圍340nm—780nm；
光學成像系統(tǒng)：采用無限遠光學成像系統(tǒng)、由顯微物鏡和成像目鏡組成；
垂直掃描系統(tǒng)：采用閉環(huán)反饋控制方式驅動顯微物鏡垂直移動、移動范圍0-500μm、位置移動精度 0.1nm；
信號處理系統(tǒng)：計算機和數(shù)字信號協(xié)處理器組成、采集系列原始圖像數(shù)據(jù)使用數(shù)字信號協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析。
優(yōu)點：
1、高分辨率：檢測每個細節(jié)并提供*的分辨搴。
2、*精度：提供高精度，生成精密的3D物體圖像。
3、*真正便攜式設備：可裝入一只手提箱，攜帶到作業(yè)現(xiàn)場或者轉移于工廠之間。
4、價格實惠：具有競爭力，不需要連接CMM掃描臂或其他外部跟蹤裝置，且成本維護費用極低。
5、手持式設備：設備的外形和重量分布*長期使用，不會導致出現(xiàn)肌肉和骨骼酸痛。
6、自定位：不需要額外跟蹤或定位設備，創(chuàng)新的定位目標點技術可以使用戶根據(jù)其需要以任何方式、角度移動被測物體。
7、真正自動多分辨率：新型批量三角化處理裝置可在需要時保持更高分辨率，同時在平面上保持更大三角形網(wǎng)格，從而生成更小的STL文件格式。
8、雙掃描模式：用戶可使用安裝在設備頂部的按鈕在正常和高分辨率掃描模式之間切換。正常分辨率對于大型部件和動態(tài)掃描十分有用，而高分辨率于要求嚴格的復雜表面。
9、功能強大，使用界面友好：即使在狹小的空聞內(nèi)使用都應用自如，可掃描任何尺寸、形狀及顏色的物體。只需極短的培訓學習時間即可上手。
