ThetaMetrisis FR-Scanner 是一款緊湊的臺式測量工具，全自動測繪涂層的厚度，基底適用于晶圓、掩膜版及其它材料。

FR-Scanner 可以快速準確地測量薄膜特性，比如厚度、折射系數、均勻性、色度等，真空吸盤可應用于任何直徑或其它形狀的樣品。